等離子廢氣凈化器又稱為低溫等離子廢氣凈化器、等離子廢氣處理設備，等離子廢氣凈化器是一種用應于廢氣處理的環保設備，具有阻力小，操作簡單等特點，等離子廢氣處理設備廣泛適用于各種低濃度的廢氣處理。
　　低溫等離子體技術原理：當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體技術在氣態污染物治理方面優勢顯著，低溫等離子體等離子體內部產生富含化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較量的活性基團發生反應，終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
　　其凈化作用機理包含兩個方面：
　　一是在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間足夠打開一些氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或分子；
　　二是等離子體中包含大量的電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發態。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得氣體分子。同時產生的大量•OH、•HO2、•O等活性自由基和氧化性的O3，與氣體分子發生化學反應，終生成產物。
　　低溫等離子體的凈化作用還具備顯著的生物效應。發生的靜電作用在各種、病毒等微生物表面產生的電能剪切力大于細胞膜表面張力，使細胞膜遭到破壞，導致微生物死亡。因此低溫等離子體除臭技術具有的之功效。